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P60.Z500一維Z向壓電納米定位臺
P60.Z500一維Z向壓電納米定位臺
P60.Z500直驅(qū)壓電平移臺,是一維Z向運動壓電定位臺,采用壓電陶瓷放大機構(gòu)的設(shè)計原理,具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有高的可靠性,壓電平移臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。
產(chǎn)品特點
Z向位移500μm
可選閉環(huán)傳感器
承載2kg
靜電容量28.8μF
真空版本可選